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반도체에 대한 펨토초 레이저를 이용한 광 펌프 및 테라헤르츠파의 투과 및 반사의 시분해 측정을 이용한 반도체 박막분석, 공정 모니터링 그리고 공정모니터링을 통한 공정제어 방법
조만호; 김종훈; 정광식
Patent
[우선권]위상절연체의 구성원서를 버퍼로하는 강자성체 위상절연체 접합
조만호; 김종훈; 정광식
Patent
펨토초 레이저를 이용한 광 펌프 및 테라헤르츠파의 투과 및 반사의 시분해 측정을 이용한 반도체의 결함의 공간분포를 분석하는 장치 및 방법
조만호; 김종훈; 정광식
Patent
펨토초 레이저를 이용한 광 펌프 및 테라헤르츠파의 투과 및 반사의 시분해 측정을 이용한 웨이퍼 내 반도체 박막의 특성 및 균일도 분석 방법 및 측정 장비.
조만호; 김종훈; 정광식
Patent
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