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펨토초 레이저를 이용한 광 펌프 및 테라헤르츠파의 투과 및 반사의 시분해 측정을 이용한 반도체의 결함의 공간분포를 분석하는 장치 및 방법
Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 조만호 | - |
| dc.contributor.author | 김종훈 | - |
| dc.contributor.author | 정광식 | - |
| dc.date.accessioned | 2025-09-09T10:00:49Z | - |
| dc.date.available | 2025-09-09T10:00:49Z | - |
| dc.identifier.uri | https://scholarworks.dongguk.edu/handle/sw.dongguk/61341 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명은 웨이퍼상 3차원 구조를 가지고 패턴화 된 3차원 반도체 구조의 결함을 분석하는 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 평면 또는 3차원 구조를 가지고 패턴화 된 반도체 구조체에 대하여 다양한 파장 및 각도로 입사 된 펨토초 레이저에 의해 광 여기된 캐리어의 결함 밀도에 따른 재결합 시상수 변화를 테라헤르츠의 투과율 또는 반사율로 분석하여 평면 및 3차원 구조로 패턴화된 반도체 구조체 내에서의 결함의 밀도 및 밀도의 공간적 분포를 분석하는 방법이다. | - |
| dc.title | 펨토초 레이저를 이용한 광 펌프 및 테라헤르츠파의 투과 및 반사의 시분해 측정을 이용한 반도체의 결함의 공간분포를 분석하는 장치 및 방법 | - |
| dc.title.alternative | Equipment and method for analyzing spatial distribution of semiconductor defects using time-resolved measurement of transmission and reflection of optical pumps and THz using fs-lasers | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.publisher.location | 대한민국 | - |
| dc.contributor.assignee | 동국대학교산학협력단;연세대학교 산학협력단 | - |
| dc.date.application | 2022-01-28 | - |
| dc.date.registration | 2025-02-04 | - |
| dc.type.iprs | 특허 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-2764674 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2022-0013501 | - |
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