가스 센서

Abstract

본 발명은 유기반도체를 이용하여 민감성과 선택성을 갖는 가스 센서 어레이 제작에 관한 것이다. 구체적으로 가스센서 소자는 DPP 기반의 폴리머 유기반도체를 이용하여 트랜지스터 형태를 가진다. 동일한 유기반도체 재료를 이용한 센서 소자는 반도체의 두께에 따라 민감도가 변화하는 것을 확인하였으며 이를 통하여 다양한 민감도를 가지는 센서 소자의 구현이 가능하다. 특히 diketopyrrolopyrrole(DPP)-기반의 센서 소자에서 암모니아, 에탄올, 에틸렌에 대하여 트랜지스터의 파라미터가 서로 다르게 변화하였으며 이러한 가스에 따른 서로 다른 파라미터(Vth, Ioff, SS, mobility 등) 변화를 이용하여 암모니아, 에탄올, 에틸렌 가스를 선택적으로 검출이 가능하다. 본 발명에서는 가스에 대한 민감도와 선택성을 위하여 센서 어레이의 소자는 다양한 두께의 유기 반도체 층을 갖는 것을 특징으로 한다.