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MMIC 공정에 적용 가능한 나노 사이즈 Anode 전극연결을 위한 디스크 구조Disk structure for nano size anode contact in MMIC process

Alternative Title
Disk structure for nano size anode contact in MMIC process
Authors
이진구한민최석규
URI
https://scholarworks.dongguk.edu/handle/sw.dongguk/59318
Abstract
나노 크기 에노드 전극연결을 위한 디스크 구조에 관한 발명이다. 이 발명은 에노드의 크기를 줄여 접합캐패시턴스 낮추고 이특성은 Cut-off주파수를 향상시킬 수 있는 방법이다.
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