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Reactive Ion Etching 공정에서 SF6/O2의 조성비에 따른 6H-Sic의 식각특성 연구

  • 강태원
제목
Reactive Ion Etching 공정에서 SF6/O2의 조성비에 따른 6H-Sic의 식각특성 연구
저자
강태원
발행일
1996-04-26
학회명
한국물리학회 제72회 논문발표회
개최지
수원
개최국가
대한민국
학회 개최일
1996-04-26 ~ 1996-04-27

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