화합물 반도체 소자의 게이트 전극 제조방법

  • 이진구
제목
화합물 반도체 소자의 게이트 전극 제조방법
저자
이진구
발행일
2002-03-20
출원번호
10-2000-0008022
등록번호
10-0331018-00-00
출원일
2000-02-19
등록일
2002-03-20