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전자선 묘화 공정을 이용한 0.1㎛ Γ-게이트 PHEMT의 제작에 관한 연구

이진구

제목: 전자선 묘화 공정을 이용한 0.1㎛ Γ-게이트 PHEMT의 제작에 관한 연구

저자: 이진구

발행일: 2001-04-01

학회명: Proceeding of the 77th Korean Physical Society Meeting(2001)Ea-P008

개최지: 서울

학회 개최일: 2001-04-01