ScholarWorks@동국대학교

상세 보기

SF6/O2를 사용한 ICP 방식의 SiC 건식식각 특성

  • 신동혁
제목
SF6/O2를 사용한 ICP 방식의 SiC 건식식각 특성
저자
신동혁
발행일
2001-10-19
학회명
한국물리학회 가을학술논문발표회
개최지
전남대,광주
학회 개최일
2001-10-19 ~ 2001-10-20

ScholarWorks@동국대학교

04620 서울특별시 중구 필동로 1길 30 동국대학교 Tel. 02-2260-3114

COPYRIGHT © 동국대학교 All Rights Reserved.

Certain data included herein are derived from the © Web of Science of Clarivate Analytics. All rights reserved.

You may not copy or re-distribute this material in whole or in part without the prior written consent of Clarivate Analytics.