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SiH₄+Ar혼합가스의 전자 Swarm파라미터 특성 해석

  • 하성철
제목
SiH₄+Ar혼합가스의 전자 Swarm파라미터 특성 해석
저자
하성철
발행일
2000-05-27
학회명
대한전기학회 장전 및 고전압 연구회 학술연구발표회
개최지
한양대/안산
학회 개최일
2000-05-27 ~ 2000-05-27

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