Effects of Thermal Annealing on Electrostatic Capacitance Properties for High-k ZrO2 Layers Grown on Ge

  • 이세준
제목
Effects of Thermal Annealing on Electrostatic Capacitance Properties for High-k ZrO2 Layers Grown on Ge
저자
이세준
발행일
2017-08-15
학회명
2017 Advances in Functional Materials Conference
개최지
UCLA
개최국가
대한민국