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RTLPCVD법에 의해 sapphire(1102)위에 제작된 Si 박막의 특성

조훈영

제목: RTLPCVD법에 의해 sapphire(1102)위에 제작된 Si 박막의 특성

저자: 조훈영

발행일: 2001-07-05

학회명: 진공학회 학술대회

개최지: 한국과학기술원

학회 개최일: 2001-07-05 ~ 2001-07-06