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Method for manufacturing micro-machined switch using pull-up type contact pad (풀업형 접촉 패드를 이용한 마이크로 머시닝 스위치의 제조법)

이진구;
이성대

제목: Method for manufacturing micro-machined switch using pull-up type contact pad (풀업형 접촉 패드를 이용한 마이크로 머시닝 스위치의 제조법)

저자: 이진구; 이성대

발행일: 2010-10-08

출원번호: JP2005-269126

등록번호: JP4601528

출원일: 2005-09-15

등록일: 2010-10-08