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실린더 타겟 회전 주파수에 따른 금속 박막 특성 변화
정권범
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제목
실린더 타겟 회전 주파수에 따른 금속 박막 특성 변화
저자
정권범
발행일
2025-02-11
학회명
한국진공학회
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