H2 Plasma Exposure Effect on 2DEG Density in AlGaN/GaN heterojunction Structure Grown on Silicon Substrate

  • 조훈영
제목
H2 Plasma Exposure Effect on 2DEG Density in AlGaN/GaN heterojunction Structure Grown on Silicon Substrate
저자
조훈영
발행일
2011-10-20
학회명
한국물리학회
개최지
컨벤션
학회 개최일
2011-10-19 ~ 2011-10-21