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Metamorphic HEMT에서 low-k Benzocyclobutene(BCB)를 이용한 표면 passivation 비교 연구

  • 이진구
제목
Metamorphic HEMT에서 low-k Benzocyclobutene(BCB)를 이용한 표면 passivation 비교 연구
저자
이진구
발행일
2006-06-21
학회명
2006년도 하계 종합학술대회
개최지
제주 롯데호텔
학회 개최일
2006-06-21 ~ 2006-06-23

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