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Nitrogen effect on charge trap suppression in AlON passivation films

  • 조훈영
제목
Nitrogen effect on charge trap suppression in AlON passivation films
저자
조훈영
발행일
2010-10-12
학회명
ECS 2010
개최지
리베라호텔
개최국가
미국
학회 개최일
2010-10-10 ~ 2010-10-15

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