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- 제목
- A NEW APPROACH OF MONTE CARLO SIMULATION OF E-BEAM LITHOGRAPHY FOR SUB-0.1㎛ T-GATE FORMATION IN GaAs-BASED PHEMT DEVICE FOR MILLIMETER-WAVE APPLICATIONS
- 저자
- 이진구
- 발행일
- 2002-08-20
- 학회명
- The 11th Seoul International Symposium
- 개최지
- 대한민국(제주도)
- 학회 개최일
- 2002-08-20 ~ 2002-08-24