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RIE공정에서 SF6/O₂조성비에 따른 6H-Sic의 식각특성연구

  • 신동혁
제목
RIE공정에서 SF6/O₂조성비에 따른 6H-Sic의 식각특성연구
저자
신동혁
발행일
1996-04-26
학회명
'96 한국물리학회 춘계학술발표회
개최지
수원
개최국가
대한민국
학회 개최일
1996-04-26 ~ 1996-04-27

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