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반도체 소자의 분석 방법 및 이를 위한 분석 장치
ANALYSIS METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND ANALYSIS APPARATUS FOR THE METHOD
- 정광식;
- 정권범;
- 홍현민
- 제목
- 반도체 소자의 분석 방법 및 이를 위한 분석 장치
- 제목 (타언어)
- ANALYSIS METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND ANALYSIS APPARATUS FOR THE METHOD
- 저자
- 정광식; 정권범; 홍현민
- 발행일
- 2024-09-12
- 출원번호
- 10-2022-0043071
- 등록번호
- 10-2708172
- 출원일
- 2022-04-06
- 등록일
- 2024-09-12
- 지식재산권 유형
- 특허
- 양수인
- 동국대학교산학협력단