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RF Management Sputtering으로 제작된 oxide/nitride/oxide 박막의 구조 및 전기적 특성 연구
  • 정웅
제목
RF Management Sputtering으로 제작된 oxide/nitride/oxide 박막의 구조 및 전기적 특성 연구
저자
정웅
발행일
2000-04-28
학회명
제76회 정기총회 및 연구논문발표회
개최지
육군사관학교/서울
학회 개최일
2000-04-28 ~ 2000-04-29

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