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Oxygen plasma effect on 2DEG interface states at AlGaN/GaN/Si Heterostructures

조훈영

제목: Oxygen plasma effect on 2DEG interface states at AlGaN/GaN/Si Heterostructures

저자: 조훈영

발행일: 2012-04-26

학회명: 한국물리학회 봄학술발표회

개최지: 대전컨벤션센터

개최국가: 대한민국

학회 개최일: 2012-04-24 ~ 2012-04-27