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전자선 묘화를 이용한 0.2um의 게이트 길이를 갖는 MIMIC용 wide-head T-gate

제목
전자선 묘화를 이용한 0.2um의 게이트 길이를 갖는 MIMIC용 wide-head T-gate
저자
박현창
발행일
1999-11-27
학회명
추계종합학술대회
개최지
수원
개최국가
대한민국
학회 개최일
1999-11-27 ~ 1999-11-27

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