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초록
환원된 그라핀 옥사이드(r-GO) 박막을 이용한 메모리 소자 및 제조방법이며, 유연한 기판 상에 제작이 가능하며, 기존 반도체 공정은 물론, 저렴한 인쇄법을 이용하여 제조가 가능한 메모리 소자 및 제조방법을 제공합니다.
- 제목
- [연차포기]접촉 구조의 나노로드 반도체 소자 및 그 제조 방법
- 제목 (타언어)
- Semiconductor device having active nanorods array and Manufacturing method thereof
- 저자
- 겐나디 파닌; 이상욱; 강태원; 조학동
- 발행일
- 2010-08-02
- 출원번호
- 10-2009-0129029
- 등록번호
- 10-0974626
- 출원일
- 2009-12-22
- 등록일
- 2010-08-02