RF 마그네트론 스퍼터 법으로 성장한 Al 도핑된 ZnO 박막의 광학적 특성

  • 김득영
제목
RF 마그네트론 스퍼터 법으로 성장한 Al 도핑된 ZnO 박막의 광학적 특성
저자
김득영
발행일
2007-04-19
학회명
2007년 봄 학술논문발표회
개최지
휘닉스 파크
학회 개최일
2007-04-19 ~ 2007-04-20