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C_4F_4-Ar혼합기체에서의 Plasma Discharge Simulation을 위한 C_4F_6 초기단면적 결정

제목
C_4F_4-Ar혼합기체에서의 Plasma Discharge Simulation을 위한 C_4F_6 초기단면적 결정
저자
전병훈
발행일
2011-07-21
학회명
대한전기학회 제42회 하계학술대회
학회 개최일
2011-07-20 ~ 2011-07-22

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