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실리콘적층 사파이어 박막의 제조방법 (Method for preparing a silicon on sapphire thin film)

조훈영;
권영해

제목: 실리콘적층 사파이어 박막의 제조방법 (Method for preparing a silicon on sapphire thin film)

저자: 조훈영; 권영해

발행일: 2008-06-27

출원번호: 10-2007-0032106

등록번호: 10-0843741-0000

출원일: 2007-03-31

등록일: 2008-06-27