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반도체 소자에 형성된 도파로 접합부 확장 장치 (APPARATUS FOR EXPANDING CONNECTION PART OF WAVEGUIDE FORMED IN SEMICONDUCTOR DEVICE)
박형무;
김진봉;
문형명;
이현석
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제목
반도체 소자에 형성된 도파로 접합부 확장 장치 (APPARATUS FOR EXPANDING CONNECTION PART OF WAVEGUIDE FORMED IN SEMICONDUCTOR DEVICE)
저자
박형무;
김진봉;
문형명;
이현석
발행일
2009-07-06
출원번호
10-2007-0113614
등록번호
10-0907552-0000
출원일
2007-11-08
등록일
2009-07-06
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