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실리콘적층 사파이어 박막의 제조방법 및 이에 의하여제조된 실리콘적층 사파이어 박막

조훈영;
곽동욱;
김원식

제목: 실리콘적층 사파이어 박막의 제조방법 및 이에 의하여제조된 실리콘적층 사파이어 박막

저자: 조훈영; 곽동욱; 김원식

발행일: 2010-07-21

출원번호: 10-2008-0025558

등록번호: 10-0972605

출원일: 2008-03-19

등록일: 2010-07-21