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LPCVD 방법에 의한 3C-SiC 박막성장에 관한 연구

  • 신동혁
제목
LPCVD 방법에 의한 3C-SiC 박막성장에 관한 연구
저자
신동혁
발행일
1997-04-25
학회명
한국물리학회 제73회 학술발표회
개최지
울산대
개최국가
대한민국
학회 개최일
1997-04-25 ~ 1997-04-26

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