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초박막 절연층을 가진 금속-절연체-금속 소자에서 Al과 Nb 전극에 따른 터널링 누설 전류 특성 연구

임현식

제목: 초박막 절연층을 가진 금속-절연체-금속 소자에서 Al과 Nb 전극에 따른 터널링 누설 전류 특성 연구

저자: 임현식

발행일: 2008-02-14

학회명: 한국진공학회 제34회 동계학술대회

개최지: 단국대학교 죽전캠퍼스

개최국가: 대한민국

학회 개최일: 2008-02-14 ~ 2008-02-15