수소 플라즈마 트리트먼트를 이용한 비정질 인듐-갈륨-아연 산화물 박막의 전기적 특성 조절연구

제목
수소 플라즈마 트리트먼트를 이용한 비정질 인듐-갈륨-아연 산화물 박막의 전기적 특성 조절연구
저자
정권범
발행일
2017-02-17
학회명
한국진공학회
개최국가
대한민국