AC transconductance 측정을 통한 반도체 소자 내 채널/절연체 계면 층 결함 검출 방법

Method for detecting channel/insulator interface layer defects in semiconductor devices through AC transconductance measurement
제목
AC transconductance 측정을 통한 반도체 소자 내 채널/절연체 계면 층 결함 검출 방법
제목 (타언어)
Method for detecting channel/insulator interface layer defects in semiconductor devices through AC transconductance measurement
저자
정권범김민정정광식
발행일
2026-06-04
출원번호
10-2024-0090267
등록번호
10-2975034
출원일
2024-07-09
등록일
2026-06-04