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AC transconductance 측정을 통한 반도체 소자 내 채널/절연체 계면 층 결함 검출 방법
Method for detecting channel/insulator interface layer defects in semiconductor devices through AC transconductance measurement
- 정권범;
- 김민정;
- 정광식
- 제목
- AC transconductance 측정을 통한 반도체 소자 내 채널/절연체 계면 층 결함 검출 방법
- 제목 (타언어)
- Method for detecting channel/insulator interface layer defects in semiconductor devices through AC transconductance measurement
- 저자
- 정권범; 김민정; 정광식
- 발행일
- 2026-06-04
- 출원번호
- 10-2024-0090267
- 등록번호
- 10-2975034
- 출원일
- 2024-07-09
- 등록일
- 2026-06-04