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- 제목
- 실리콘적층 사파이어 박막의 제조방법 (Method for preparing a silicon on sapphire thin film)
- 제목 (타언어)
- Manufacturing Method for Silicon-on-Sapphire Thin Film
- 저자
- 곽동욱; 김도형; 김원식; 김정우; 설민수; 신충환; 이동화; 조훈영
- 발행일
- 2012-03-16
- 출원번호
- 10-2010-0039266
- 등록번호
- 10-1129513
- 출원일
- 2010-04-28
- 등록일
- 2012-03-16