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스트레쳐블 콤보센서 및 이의 공정 방법
STRETCHABLE COMBO SENSOR AND FABRICATION METHODS OF THE SAME
- 김현석;
- 예혜경;
- 임창주;
- 조은비;
- 최지연
초록
본 발명은 희생층을 이용하여 감지체 및 패턴을 신축성 기판 상으로 옮기는 방법으로, 동일 기판 상에 간격을 두고 나열하여 형성한 유사 또는 상이한 둘 이상의 감지체, 각 감지체의 저항 변화를 확인할 수 있는 전극층, 센서에 변형을 가할 시 신축성 부족으로 인하여 감지체 내의 이격이 발생할 수 있는 감지체에 변형을 흡수하는 보호층을 제공하여, 센서의 인장, 이완된 상태에서도 센서의 성능을 유지할 수 있는 스트레쳐블 콤보센서 및 이의 공정 방법을 제시한다.
- 제목
- 스트레쳐블 콤보센서 및 이의 공정 방법
- 제목 (타언어)
- STRETCHABLE COMBO SENSOR AND FABRICATION METHODS OF THE SAME
- 저자
- 김현석; 예혜경; 임창주; 조은비; 최지연
- 발행일
- 2023-10-18
- 출원번호
- 10-2021-0162983
- 등록번호
- 10-2592746
- 출원일
- 2021-11-24
- 등록일
- 2023-10-18
- 지식재산권 유형
- 특허
- 양수인
- 동국대학교산학협력단