Plasma exposure effect on 2DEG density and Deep level defects in AlGaN/GaN/Si Heterostructures

  • 조훈영
제목
Plasma exposure effect on 2DEG density and Deep level defects in AlGaN/GaN/Si Heterostructures
저자
조훈영
발행일
2011-12-09
학회명
ICAMD2011
개최지
라마다 플라자
학회 개최일
2011-12-07 ~ 2011-12-09