전자선 묘화 장치를 이용한 비대칭적인 0.1 μm Γ-게이트 PHEMT 공정 및 특성에 관한 연구

  • 이진구
제목
전자선 묘화 장치를 이용한 비대칭적인 0.1 μm Γ-게이트 PHEMT 공정 및 특성에 관한 연구
저자
이진구
발행일
2001-06-28
학회명
2001년도 대한전자공학회 하계종합학술대회
개최지
용평
학회 개최일
2001-06-28 ~ 2001-06-30