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- 제목
- Spin-On-Dielectric 물질을 이용한 반도체 소자의 Mesa 절연기술
- 제목 (타언어)
- Mesa insulation technology using Spin-On-Dielectric materials in the semiconductor devices
- 저자
- 김삼동; 고필석; 박경석
- 발행일
- 2015-09-22
- 출원번호
- 10-2014-0087343
- 등록번호
- 10-1556337
- 출원일
- 2014-07-11
- 등록일
- 2015-09-22
- 지식재산권 유형
- 특허
- 양수인
- 동국대학교산학협력단