Effect of the low growth rate and slow pulse repetition on ZnO thin films at low temperature

  • 김득영
제목
Effect of the low growth rate and slow pulse repetition on ZnO thin films at low temperature
저자
김득영
발행일
2005-08-18
학회명
한국진공학회 제29회 논문발표회
개최지
한국과학기술원
학회 개최일
2005-08-18 ~ 2005-08-19