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50 nm InGaAs/InAlAs/GaAs Metamorphic HEMTs using double exposure without the dielectric support

  • 이진구
제목
50 nm InGaAs/InAlAs/GaAs Metamorphic HEMTs using double exposure without the dielectric support
저자
이진구
발행일
2004-02-19
학회명
제11회 반도체 학술대회
개최지
무주
학회 개최일
2004-02-19 ~ 2004-02-20

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