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산화물 반도체를 포함하는 3차원 구조 트랜지스터 및 어레이 제조방법
thin film transistor
- 김현석;
- 박지민;
- 장성철;
- 정광식;
- 정권범
- 제목
- 산화물 반도체를 포함하는 3차원 구조 트랜지스터 및 어레이 제조방법
- 제목 (타언어)
- thin film transistor
- 저자
- 김현석; 박지민; 장성철; 정광식; 정권범
- 발행일
- 2025-07-30
- 출원번호
- 10-2023-0139440
- 등록번호
- 10-2842281
- 출원일
- 2023-10-18
- 등록일
- 2025-07-30
- 지식재산권 유형
- 특허
- 양수인
- 충남대학교 산학협력단;동국대학교산학협력단