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Reactive Ion Etching of Gallium Nitride in SF6 Plasma

  • 이진구
제목
Reactive Ion Etching of Gallium Nitride in SF6 Plasma
저자
이진구
발행일
2000-08-08
학회명
ICEIC'2000
개최지
Liaoning Univ,Shenyang
학회 개최일
2000-08-08 ~ 2000-08-11

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