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RF Magnetron Sputter법으로 성장된 Zn1-xMnxO 박막의 Rapid Thermal Annealing 효과

강태원

제목: RF Magnetron Sputter법으로 성장된 Zn1-xMnxO 박막의 Rapid Thermal Annealing 효과

저자: 강태원

발행일: 2004-02-11

학회명: 제26회 한국진공학회 학술발표회

개최지: 서울대학교

학회 개최일: 2004-02-11 ~ 2004-02-12