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Si/SiO2-nanostructure의 제작 및 C-V 특성연구

김득영

제목: Si/SiO2-nanostructure의 제작 및 C-V 특성연구

저자: 김득영

발행일: 2001-07-05

학회명: 한국진공학회 제21회 학술발표회

개최지: KAIST,대전

학회 개최일: 2001-07-05 ~ 2001-07-06