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볼츠만 방정식에 의한 CF4분자가스의 전리 및 부착계수에 관한연구

  • 하성철
제목
볼츠만 방정식에 의한 CF4분자가스의 전리 및 부착계수에 관한연구
저자
하성철
발행일
2004-11-11
학회명
2004년 한국전지전자재료학회 추계학술대회
개최지
고려대학교, 서울
학회 개최일
2004-11-11 ~ 2004-11-13

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