ScholarWorks@동국대학교

상세 보기

RTLPCVD법에 의한 sapphire(1102) 위에 제작된 Si 박막의 특성

  • 김득영
제목
RTLPCVD법에 의한 sapphire(1102) 위에 제작된 Si 박막의 특성
저자
김득영
발행일
2001-07-05
학회명
한국진공학회 제21회 학술발표회
개최지
KAIST,대전
학회 개최일
2001-07-05 ~ 2001-07-06

ScholarWorks@동국대학교

04620 서울특별시 중구 필동로 1길 30 동국대학교 Tel. 02-2260-3114

COPYRIGHT © 동국대학교 All Rights Reserved.

Certain data included herein are derived from the © Web of Science of Clarivate Analytics. All rights reserved.

You may not copy or re-distribute this material in whole or in part without the prior written consent of Clarivate Analytics.