Effect of He gas on hydrogen content and passivation of GaAs PHEMT

  • 이진구
제목
Effect of He gas on hydrogen content and passivation of GaAs PHEMT
저자
이진구
발행일
2000-06-28
학회명
2000 Asia Pacific Workshop on Fundamental & Application of ASD
개최지
Plaza Deigo,Naha,Okinawa
학회 개최일
2000-06-28 ~ 2000-06-30