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Effects of Rapid Thermal Annealing on Dielectric Characteristics of High-k ZrO2 Grown on p-Ge
- 제목
- Effects of Rapid Thermal Annealing on Dielectric Characteristics of High-k ZrO2 Grown on p-Ge
- 저자
- 이영민
- 발행일
- 2023-01-10
- 학회명
- Advances in Functional Materials
- 개최국가
- 대한민국