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Spin-On-Dielectric 물질을 이용한 반도체 소자의 Passivation

Passivation using Spin-On-Dielectric materials in the semiconductor devices

김삼동;
고필석;
정성호

제목: Spin-On-Dielectric 물질을 이용한 반도체 소자의 Passivation

제목 (타언어): Passivation using Spin-On-Dielectric materials in the semiconductor devices

저자: 김삼동; 고필석; 정성호

발행일: 2014-01-03

출원번호: 10-2012-0090968

등록번호: 10-1349903

출원일: 2012-08-20

등록일: 2014-01-03