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전자선 묘화를 이용한 0.2um의 게이트 길이를 갖는 MIMIC용 Wide-Head T-gate제작

  • 이진구
제목
전자선 묘화를 이용한 0.2um의 게이트 길이를 갖는 MIMIC용 Wide-Head T-gate제작
저자
이진구
발행일
1999-11-27
학회명
대한전자공학회 1999년도 추계종합학술대회
개최지
수원
학회 개최일
1999-11-27 ~ 1999-11-27

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