상세 보기
실리콘 나노-마이크로 구조 제작 방법 및 응용
Method for fabrication of silicon nano-/microstructures and its applications
- 장재원;
- 조정식
- 제목
- 실리콘 나노-마이크로 구조 제작 방법 및 응용
- 제목 (타언어)
- Method for fabrication of silicon nano-/microstructures and its applications
- 저자
- 장재원; 조정식
- 발행일
- 2022-10-06
- 출원번호
- 10-2020-0165054
- 등록번호
- 10-2453534
- 출원일
- 2020-11-30
- 등록일
- 2022-10-06
- 지식재산권 유형
- 특허
- 양수인
- 동국대학교산학협력단